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等离子体处理机(X2025016)  询价采购公告

等离子体处理机(X2025016)  询价采购公告

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信息时间:
2025-05-21
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等离子体处理机(X******)  询价采购公告

发布者:高海燕发布时间:2025-05-21

一、询价采购编号:X******

******管理中心

地址:江苏省苏州市东环路50号凌云楼904室

邮编:215021          传真:0512-******

联系人:丁老师      电话:0512-************

电子邮箱:******

技术联系人:朱老师                电话:******

电子邮箱:******

三、设备名称、数量及主要技术指标等要求

等离子体处理机  1套

(一)主要性能指标和配置要求

1.自动和手动控制模式,处理中可随时更改状态参数。

2.可视化操作界面,通过触摸液晶屏进行工艺程序存储,等离子体处理功率,等离子体处理时间,压力,流量,流量比(气体混合物),泵停机时间,供气时间,通风时间等操作。该系统允许在过程结束时自动排气或保持在真空。

3.可设定等离子功率40kHz(0-300W)可调、真空压力、气体流量、气体混合比例、通气时间、破真空时间等参数。

4.极限真空度优于5E-3mbar。

5.1路MFC数字流量计,精度±2%,重复性±0.25%。可通入O2、Ar、N2、H2、CO2、Air等非腐蚀气体,可控制通气流量和通气时间。

6.压力互锁功能,抽真空压力0.4mba以下,其他工艺功能才能启动。

7.射频发生器,40kHz,0-300W连续可调

8.腔体材料:不锈钢;腔体体积≥10L

9.可移动式托盘,可同时容纳多个样品进行处理。

10.带观察窗,实时观测腔体动态。装载门报警开关:门闭合不到位、漏气等进行报警。

11.真空泵与设备联动控制,由等离子设备控制启停。

(二)质保期不少于1年

四、报价截止时间:2025年5月28日14:00。

五、询价采购文件价格:人民币300元(相关缴纳事宜详见附件),售后不退。

******大学网上询价采购仪器设备报价须知》,在接受其所有条款要求的基础上按要求进行报价。

七、报价文件递交:顺丰快递邮寄(请充分考虑快递送达时间,避免错过时间)。




附件:标书费缴纳说明(******).pdf




—————————————————

询价采购编号:X******

成交供应商:



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