等离子体处理机(X******) 询价采购公告
一、询价采购编号:X******
******管理中心
地址:江苏省苏州市东环路50号凌云楼904室
邮编:215021 传真:0512-******
联系人:丁老师 电话:0512-******,******
电子邮箱:******
技术联系人:朱老师 电话:******
电子邮箱:******
三、设备名称、数量及主要技术指标等要求
等离子体处理机 1套
(一)主要性能指标和配置要求
1.自动和手动控制模式,处理中可随时更改状态参数。
2.可视化操作界面,通过触摸液晶屏进行工艺程序存储,等离子体处理功率,等离子体处理时间,压力,流量,流量比(气体混合物),泵停机时间,供气时间,通风时间等操作。该系统允许在过程结束时自动排气或保持在真空。
3.可设定等离子功率40kHz(0-300W)可调、真空压力、气体流量、气体混合比例、通气时间、破真空时间等参数。
4.极限真空度优于5E-3mbar。
5.1路MFC数字流量计,精度±2%,重复性±0.25%。可通入O2、Ar、N2、H2、CO2、Air等非腐蚀气体,可控制通气流量和通气时间。
6.压力互锁功能,抽真空压力0.4mba以下,其他工艺功能才能启动。
7.射频发生器,40kHz,0-300W连续可调
8.腔体材料:不锈钢;腔体体积≥10L
9.可移动式托盘,可同时容纳多个样品进行处理。
10.带观察窗,实时观测腔体动态。装载门报警开关:门闭合不到位、漏气等进行报警。
11.真空泵与设备联动控制,由等离子设备控制启停。
(二)质保期不少于1年
四、报价截止时间:2025年5月28日14:00。
五、询价采购文件价格:人民币300元(相关缴纳事宜详见附件),售后不退。
******大学网上询价采购仪器设备报价须知》,在接受其所有条款要求的基础上按要求进行报价。
七、报价文件递交:顺丰快递邮寄(请充分考虑快递送达时间,避免错过时间)。
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询价采购编号:X******
成交供应商: